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DV系列隔膜阀

工作压力:真空至300psig(低压) 真空至3000psig(高压) | 材质:316L/316L(VIM+VAR) | 工作温度:-10℃~60℃(低压) -10℃~40℃(高压)
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详细介绍
产品参数
产品介绍 

 

DV系列隔膜阀,膜片式硬密封结构,超低泄漏率;适用于超高纯度气体,半导体用(毒、腐)气体,满足超大规模集成电路的工艺气体要求。

 

主要部件材料 

 

阀体              316L /316L(VIM+VAR) 

膜片           Ni-Cr-Mo alloy/UNS N06022

密封垫        PCTFE

手柄           6063

  

工作条件

 

工作压力              真空至 300psig, 真空至 3000psig 

爆破压力             低压 3000psig, 高压 9000psig

流量系数            1/4" 为 0.25 , 1/2" 为 0.35,3/4" 为 1.0,1/2"HF 为 0.7

工作温度            低压 -10 ~ 60℃ , 高压 -10 ~ 40℃ 

内漏率               ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He

外漏率               ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He

内表面粗糙度     Ra ≤ 0.1μm

 

产品特点 

 

适合超高纯度气体应用

高低压两种阀型

Ni-Cr-Mo alloy/UNS N06022 材料膜片

每台阀门进行单独的氦质谱检测

 

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