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前驱体源瓶
工作压力：0.8Mpa｜工作温度：0 ～ 150℃
一体化气体分配系统
工作压力：0 ～ 150psi｜工作温度： -10 ～ 60℃
手动真空波纹管角阀系列
内表面粗糙度：Ra ≤ 0.13μm｜工作温度：-10 ～ 80℃
气动真空波纹管角阀系列
开启压力：0.5Mpa-0.8Mpa｜工作温度：-10 ～ 80℃
气动波纹管截止阀系列
开启或关闭压力：0.5Mpa-0.8Mpa｜工作温度：-10 ～ 80℃ /‘0 ～ 220℃
QPV（H）高速隔膜阀
工作压力：真空至145psig｜流量系数：0.27/0.62｜工作温度：0 ～ 70℃，0 ～200℃（高温型）
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