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前驱体源瓶

工作压力:0.8Mpa|工作温度:0 ~ 150℃

一体化气体分配系统

工作压力:0 ~ 150psi|工作温度: -10 ~ 60℃

手动真空波纹管角阀系列

内表面粗糙度:Ra ≤ 0.13μm|工作温度:-10 ~ 80℃

气动真空波纹管角阀系列

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手动波纹管截止阀

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气动波纹管截止阀系列

开启或关闭压力:0.5Mpa-0.8Mpa|工作温度:-10 ~ 80℃ /‘0 ~ 220℃
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