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Pα-HB 气体减压器

进口压力:2200psig|出口压力:0~150psig|材质:316L|工作温度-10℃~60℃
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详细介绍
产品参数


Pα-HB 精密气体减压器。单级膜片式设计;高压输入,低压中等流量输出,输出压力稳定;

适用于半导体级高纯气体、低浓度毒性、低浓度腐蚀性、易燃易爆气体等。 
 

 

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FLOW CHARACTERISTICS

 

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工作条件

 
 

安装图

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OUTLINE  DRAWING

 
 

上图是Pα-HB气体减压器安装图

 

细节展示

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FEATURE  HIGHTLIGHT


柔性膜片结构,手柄特殊结构设计,调节顺畅
单级式减压,死体积小,便于吹扫
进口出口可以加装其他附件
主要部件电解抛光处理,增加耐腐蚀性
内置精密过滤器,保证气体洁净

产品特点

 

主要部件材料

全部氦质谱测漏

外漏率低于1.0×10-10Pa.M3/sec.He

超长使用寿命(高压型3万次试验值)

                     (低压型50万次试验值)

 

FLOW CHARACTERISTICS

 

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主要部件材料

Pα-HB精密气体减压器

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