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前驱体源瓶
详细介绍
产品参数
产品介绍
前驱体源瓶用于固态、液态及气态超纯物料类的封装，涉及微正压、常压、中低压的危险化学品，对源瓶的安全性和洁净度提出严苛的要求。
主要部件材料
阀体 316L /316L（VIM+VAR）
瓶体 316L
工作条件
工作压力 0.8Mpa
内漏率 ≤ 1×10 -10 Pa.m3 /sec.He
外漏率 ≤ 1×10 -10 Pa.m3 /sec.He
工作温度 0 ～ 150℃
内表面粗糙度 Ra ≤ 0.2μm
产品特点
超纯物料类的封装
涉及微正压、常压、中低压