手动真空波纹管角阀系列

内表面粗糙度：Ra ≤ 0.13μm｜工作温度：-10 ～ 80℃

详细介绍

产品参数

产品介绍

手动真空波纹管角阀采用316L波纹管并结合洁净工艺处理，使阀门在使用过程中减少颗粒物的产生，非常适用于半导体行业或研究环境。它主要用于规格仪表或系统隔离，同时也推荐作为通气、旁路或粗抽阀使用。

主要部件材料

阀体 316L /316L（VIM+VAR）
密封圈 FKM
波纹管 316L

手柄 6061

工作条件

真空压力等级 0.1Mpa-1x10 ^-9 pa
漏率 ≤ 1×10 ^-10 Pa.m³ /sec.He

CV值 1.0/1.5/2.2

工作温度 -10 ～ 80℃

内表面粗糙度 Ra ≤ 0.13μm

产品特点

采用 316L 波纹管并结合洁净工艺处理

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