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Uα-HB 气体减压器
详细介绍
产品参数
| 产品介绍 | |
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Uα-HB 气体减压器专为超高纯气体，半导体级工艺气体设计，满足超大规模集成电路的使用要求。
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| 主要部件材料 | |
| 阀体 | 316L（VIM+VAR） |
| 膜片 | UNS N06022 |
| 阀针 | 316L（VIM+VAR）/ UNS N10276 |
| 密封垫 | PCTFE / PI |
| 手柄 | ABS |
| 阀盖 | 316L |
| 工作条件 | |
| 进口压力 | 3500psig |
| 出口压力 | 30,60,100,150psig |
| 原压变动 | 1.3psig / 100psig |
| 工作温度 | -10 ～ 60℃ |
| 内漏率 | ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He |
| 外漏率 | ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He |
| 流量系数 | 0.5 |
| 内表面粗糙度 | Ra ≤ 0.1μm |
| 产品特点 | |
| 适用于特气柜 | |
| 提供 UNS N06022/UNS N10276 内部件选项 | |
| 每台减压器进行单独的压力测试、功能测试、氦质谱泄漏测试和颗粒物检测 | |
| 内部无弹簧，内部死体积小，减少了颗粒物的存留 | |
| 束缚膜片结构，增加安全性 | |
