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VG 系列真空发生器
详细介绍
产品参数
产品介绍
VG 系列真空发生器，在吹扫过程中引入真空，显著改善吹扫和工艺气体的稀释效果。
产品特点
清洗、组装、测试和包装在10级洁净间完成
超纯水清洗
内部粗糙度 Ra ≤ 0.25µm
外漏率低于 1×10-10Pa.m3 /Sec.He
工作条件
驱动气体压力 70 ～ 120psig
可达真空度 -82Kpag
工作温度 -10 ～ 60℃
外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
内表面粗糙度 Ra ≤ 0.25μm
