Pα-HMB 精密气体减压器。单级膜片式设计；高压输入，低压大流量输出，

输出压力稳定；适用于半导体级高纯气体、低浓度毒性、低浓度腐蚀性、易燃易爆气体等。

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ORDERING INFORMATION

FLOW CHARACTERISTICS

流量曲线图

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SPECIFICATIONS

工作条件

安装图

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OUTLINE  DRAWING

上图是Pα-HMB半导体减压器安装图

细节展示

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FEATURE  HIGHTLIGHT

柔性膜片结构，调节顺畅
单级式减压
进口出口可以加装其他附件
主要部件电解抛光处理，增加耐腐蚀性
内置精密过滤器，保证气体洁净
 

产品特点

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主要部件材料

FLOW CHARACTERISTICS