Pα-MB 精密气体减压器。单级膜片式设计；低压输入，低压大流量输出，输出压力稳定；

适用于半导体级高纯气体、低浓度毒性、低浓度腐蚀性、易燃易爆气体等。
 

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ORDERING INFORMATION

FLOW CHARACTERISTICS

流量曲线图

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SPECIFICATIONS

工作条件

安装图

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OUTLINE  DRAWING

上图是Pα-MB气体减压器安装图

细节展示

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FEATURE  HIGHTLIGHT

柔性膜片结构，调节顺畅
单级式减压，死体积小，便于吹扫
进口出口可以加装其他附件
主要部件电解抛光处理，增加耐腐蚀性
内置精密过滤器，保证气体洁净

产品特点

主要部件材料

全部氦质谱测漏

外漏率低于1.0×10-10Pa.M3/sec.He

超长使用寿命(高压型3万次试验值)

                     (低压型50万次试验值)

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主要部件材料