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Pα-BB 气体减压器
详细介绍
产品参数
Pα-BB 精密气体减压器。单级膜片式设计;低压输入,低压大流量输出,输出压力稳定;
适用于半导体级高纯气体、低浓度毒性、低浓度腐蚀性、易燃易爆气体等。
可信赖的品质!
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ORDERING INFORMATION
FLOW CHARACTERISTICS
流量曲线图
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SPECIFICATIONS
工作条件
安装图
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OUTLINE DRAWING
上图是Pα-BB气体减压器安装图
细节展示
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FEATURE HIGHTLIGHT
柔性膜片结构,调节顺畅
单级式减压
进口出口可以加装其他附件
主要部件电解抛光处理,增加耐腐蚀性
内置精密过滤器,保证气体洁净
产品特点
主要部件材料
全部氦质谱测漏
外漏率低于1.0×10-10Pa.M3/sec.He
超长使用寿命(高压型3万次试验值)
(低压型50万次试验值)
FLOW CHARACTERISTICS
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主要部件材料
Pα-BB精密气体减压器