DPH系列气动隔膜阀

工作压力:真空至300psig｜材质:316L/316L(VIM+VAR) | 工作温度:-10℃~70℃

详细介绍

产品参数

产品介绍

DPH 系列气动隔膜阀，膜片式硬密封结构，超低漏率，超长使用寿命，稳定快速的侧进气执行机构；适用于超高纯度气体，半导体用（毒、腐）气体，满足超大规模集成电路的工艺气体要求。

主要部件材料

阀体 316L /316L（VIM+VAR）
膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003
密封垫 PCTFE

工作条件

工作压力真空至 300psig
爆破压力 3000psig
流量系数 0.5
工作温度 -10 ～ 70℃
内漏率 ≤1×10^-10Pa.m³/sec.He
外漏率 ≤1×10^-10Pa.m³/sec.He
内表面粗糙度 Ra≤0.1μm

产品特点

适合超高纯度气体应用

Ni-Co alloy /UNS R30003 材料膜片

快速、可重复执行的气动执行机构

每台阀门进行单独的氦质谱检测

超长使用寿命（400 万次实验值）

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