QPV（H）高速隔膜阀

工作压力：真空至145psig｜流量系数：0.27/0.62｜工作温度：0 ～ 70℃，0 ～200℃（高温型）

详细介绍

产品参数

产品介绍

QPH（H）系列高速隔膜阀，膜片式硬密封，超低漏率，长寿命，快速响应，可选耐高温；适用于原子层沉积（ALD）系统，主要用于集成电路晶圆生产的环节。超高纯度气体，半导体用（毒、腐）气体。

主要部件材料

阀体 316L （VIM+VAR）
膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003
密封垫 PFA

工作条件

工作压力真空至145psig
流量系数 0.27/0.62
工作温度 0 ～ 70℃，0 ～200℃（高温型）
内漏率 ≤1×10^-10Pa.m³/sec.He
外漏率 ≤1×10^-10Pa.m³/sec.He
内表面粗糙度 Ra≤0.13μm

产品特点

快速响应下的超长使用寿命

耐高温执行器

每台阀门进行单独氦质谱泄漏测试

可选的模块化表面安装、卡套管对焊和UCR® 端接

产品中心