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Xα-1L 气体减压器
详细介绍
产品参数
| 产品介绍 | |
| Xα-1L气体减压器。单级膜片式设计，硬密封结构，内部电解抛光处理；低压输入，低压标准流量输出，输出压力稳 定；适用于半导体级高纯气体、毒 性、腐 蚀性、易燃易爆气体等。 | |
| 主要部件材料 | |
| 阀体 | 316L/316L（VIM+VAR） |
| 膜片 | UNS N06022 |
| 阀针 | 316L / UNS N10276 |
| 密封垫 | PCTFE / PI |
| 手柄 | ABS |
| 阀盖 | 316L |
| 工作条件 | |
| 进口压力 | 300psig |
| 出口压力 | 30,60,100,150psig |
| 原压变动 | 1.6psig / 100psig |
| 工作温度 | -10 ～ 60℃ |
| 内漏率 | ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He |
| 外漏率 | ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He |
| 流量系数 | 0.24 |
| 内表面粗糙度 | Ra ≤ 0.1μm |
| 产品特点 | |
| 适用于VMB、VMP | |
| 提供 UNS N06022/UNS N10276 内部件选项 | |
| 每台减压器进行单独的压力测试、功能测试、氦质谱泄漏测试和颗粒物检测 | |
| 膜片与阀体之间采用金属对金属密封设计，密封性能极好 | |
