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MGDS系列零配件
详细介绍
产品参数
产品介绍
MGDS 配套专用垫片支撑组件、螺钉遵循 SEMI 标准，满足一体化气体分配系统的使用。
产品特点
1、采用 316L(VIM+VAR) 材质
2、设计压力 5000psig
3、漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
4、规格 1.125C-SEAL
