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MGDS隔膜阀

工作压力:150psig| 材质:316L /316L(VIM+VAR) | 工作温度:-10℃~80℃
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详细介绍
产品参数
产品介绍 

 

MGDS 隔膜阀,膜片式硬密封结构,超低漏率;适用于超高纯度气体,半导体用(毒、腐)气体,满足一体化气体分配系统的使用。

 

主要部件材料 

 

阀体         316L /316L(VIM+VAR) 

膜片        Ni-Co alloy /UNS R30003

密封垫     PCTFE

  

工作条件

 

工作压力              150psig

爆破压力           450psig

流量系数           0.1/0.3HF

工作温度           -10 ~ 80℃

内漏率              ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He

外漏率              ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He

内表面粗糙度    Ra ≤ 0.1μm

 

产品特点 

 

适用于一体化气路分配系统

每台阀门进行单独氦质谱泄漏测试

超长使用寿命

 

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