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MGDS隔膜阀
详细介绍
产品参数
产品介绍
MGDS 隔膜阀,膜片式硬密封结构,超低漏率;适用于超高纯度气体,半导体用(毒、腐)气体,满足一体化气体分配系统的使用。
主要部件材料
阀体 316L /316L(VIM+VAR)
膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003
密封垫 PCTFE
工作条件
工作压力 150psig
爆破压力 450psig
流量系数 0.1/0.3HF
工作温度 -10 ~ 80℃
内漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
内表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm
产品特点
适用于一体化气路分配系统
每台阀门进行单独氦质谱泄漏测试
超长使用寿命