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MGDS气体减压器Um-1L
详细介绍
产品参数
产品介绍
Um-1L 气体减压器，膜片式硬密封结构，超低漏率；适用于超高纯度气体，半导体用（毒、腐）气体，满足一体化气体分配系统的使用。具有卓越的重复性，稳定性，灵敏度和非凡的响应阶跃功能变化。
主要部件材料
阀体 316L（VIM+VAR）
膜片 UNS N10276
阀针 316L / UNS N10276
密封垫 PCTFE / PI
手柄 6063
阀盖 316L
工作条件
进口压力 250psig
出口压力 10,30,60,100psig
原压变动 0.3psig / 20psig
流量系数 0.06/0.15HF
工作温度 -40 ～ 60℃
内漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He
内表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm
产品特点
适用于一体化气体分配系统
每台减压器进行单独的压力测试、功能测试、氦质谱泄漏测试和颗粒物检测
卓越的重复性，稳定性，灵敏度和非凡的响应阶跃功能变化
