MGDS 底座为一体化气体分配系统技术提供了一种方法，在更紧凑的气体面板上构建气体输送系统，利用平面密封技术。每个表面安装 组件遵循SEMI标准。可根据需求形成不同的配置形式。维护时，仅需在面板上方进行操作，简单方便。

工作压力              1Mpa

工作温度              -10 ～ 200℃

外漏率                 ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He

内表面粗糙度       Ra ≤ 0.1μm

漏率测试      外漏率 5X10-10Pa.m3 /sec.He，符合实际生产需求。

清洁            10 级洁净间超纯水清洗。

EP 工艺       内部经过 EP 工艺处理后，内表面粗糙度 Ra ≤ 0.1μm，满足超高纯度气体系统要求。

安装            满足 SEMI 安装标准。