DP 系列气动隔膜阀，膜片式硬密封结构，超低泄漏率，稳定快速的执行机构；适用于超高纯度气体，半导体用（毒、腐）气体，满足超大规模集成电路的工艺气体要求。

阀体             316L /316L（VIM+VAR） 

膜片           Ni-Cr-Mo alloy/UNS N06022

密封垫        PCTFE

工作压力             真空至 300psig, 真空至 3000psig 

爆破压力            低压 3000psig, 高压 9000psig

流量系数            1/4" 为 0.25 , 1/2"HF 为 0.7

工作温度            低压 -10 ～ 60℃ , 高压 -10 ～ 40℃ 

内漏率               ≤ 1×10^-10Pa.m³ /sec.He

外漏率               ≤ 1×10^-10Pa.m³ /sec.He

内表面粗糙度     Ra ≤ 0.1μm

适合超高纯度气体应用

Ni-Cr-Mo alloy/UNS N06022 材料膜片

快速、可重复执行的气动执行机构

每台阀门进行单独的氦质谱检测